プラズマ真空チャンバー、真空ノズル

• 半導体製装置用

半導体製造装置の重要部品であるプラズマ真空チャンバーや真空ノズルの精密加工を行っています。 極めて高い寸法精度と表面清浄度が求められるため、クリーンな加工環境と専門技術を駆使。 精密な真空環境を実現するために、微細な凹凸のない滑らかな表面仕上げを実現しています。
また、複雑な形状や薄肉構造にも対応し、多様な設計に柔軟に対応可能です。